型號 | MT40 | MT60 | MT80 |
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 | ||
觀察筒 | 反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節： 觀察筒 50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0 | 正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0 | 正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0 |
反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0 | 反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0 | ||
目鏡 | 高眼點目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調 | 高眼點大視野目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調 | 高眼點大視野目鏡SWH10X-H/25mm，視度可調 |
物鏡 | 明暗場物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X）(選配) | ||
明場物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X）(選配) | |||
物鏡轉換器 | 手動明暗場五孔物鏡轉盤//電動明暗場5孔轉換器（帶DIC插槽），物理按鈕和軟體雙控. | ||
機架 上光源 | 反射用機架,低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節鬆緊裝置和隨機上限位元裝置。內置100-240V寬電壓 系統，採用數字調光，具有光強設定與復位功能 | ||
載物台 | 4 英寸載物台，平臺面積310*240mm，移動行程：100mmX100mm 機械平臺，X、Y方向同軸調節 | 6 英寸平臺，平臺面積450*240mm，移動行程：158mmX158mm 機械平臺，X、Y方向同軸調節；含 快速移動裝置 | 8 英寸平臺，平臺面積525*330mm，移動行程：210mmX210mm 機械平臺，X、Y方向同軸調節；含快速移動裝置 |
聚光鏡 | 搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9） | ||
干涉片 | 諾曼爾斯基微分干涉片 | ||
反射照明器 | 明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調，帶色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽 | ||
燈室 | 5W可調LED燈室，透、反射通用，預定中心 | 10W 可調 LED 燈室，透、反射通用，預定中心 | |
攝像介面 | 攝影攝像附件：0.65X，C型介面，可調焦（可選0.5X/1X） | ||
偏光組件 | 起偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板 | ||
Product
產品介紹
MT80 金相顯微鏡
MT 系列含 4、6、8 英寸多種平臺，可適用不同尺寸的晶圓檢測。涵蓋明暗場、偏光、DIC等多種觀察方式，專業應用於半導體、FPD、電路 封裝、電路基板、材料、精密磨具等檢測領域。
採用全新LED照明系統和光學系統，照明均勻，成像清晰。突破性的大金相機架設計，可承載8英寸超大工作平臺，平臺面積525mmX330mm，採用了離合器驅動的手動XY載物台 ,移動行程210X210mm。顯微鏡和軟體雙相控制，能夠快速、精確地完成檢查。設計符合人體工程學原理，使用起來舒適自如。擁有安全性與可靠性雙重保障。
MT-80L 物鏡轉盤等採用電動切換模式，操作更加方便快捷。配置 8寸超大移 動平臺，為半導體、FPD 檢測提供最佳的應用環境。最大可支援 200mm 晶圓及1 4英寸液晶面板的檢查。
規格表
型號 | MT40 | MT60 | MT80 |
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 | ||
觀察筒 | 反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節： 觀察筒 50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0 | 正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0 | 正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0 |
反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0 | 反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0 | ||
目鏡 | 高眼點目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調 | 高眼點大視野目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調 | 高眼點大視野目鏡SWH10X-H/25mm，視度可調 |
物鏡 | 明暗場物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X）(選配) | ||
明場物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X）(選配) | |||
物鏡轉換器 | 手動明暗場五孔物鏡轉盤//電動明暗場5孔轉換器（帶DIC插槽），物理按鈕和軟體雙控. | ||
機架 上光源 | 反射用機架,低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節鬆緊裝置和隨機上限位元裝置。內置100-240V寬電壓 系統，採用數字調光，具有光強設定與復位功能 | ||
載物台 | 4 英寸載物台，平臺面積310*240mm，移動行程：100mmX100mm 機械平臺，X、Y方向同軸調節 | 6 英寸平臺，平臺面積450*240mm，移動行程：158mmX158mm 機械平臺，X、Y方向同軸調節；含 快速移動裝置 | 8 英寸平臺，平臺面積525*330mm，移動行程：210mmX210mm 機械平臺，X、Y方向同軸調節；含快速移動裝置 |
聚光鏡 | 搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9） | ||
干涉片 | 諾曼爾斯基微分干涉片 | ||
反射照明器 | 明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調，帶色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽 | ||
燈室 | 5W可調LED燈室，透、反射通用，預定中心 | 10W 可調 LED 燈室，透、反射通用，預定中心 | |
攝像介面 | 攝影攝像附件：0.65X，C型介面，可調焦（可選0.5X/1X） | ||
偏光組件 | 起偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板 | ||
下載檔案
上傳日期 檔案名稱 檔案類型 檔案大小 2023/03/27 DRC-6736.dwg DWG檔 219KB 2022/09/15 MDRA-7032.pdf PDF檔 166KB
配套產品
調焦支架組
移動台
光源
其他配件
