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產品介紹

MT60 金相顯微鏡

MT60 金相顯微鏡

MT 系列含 4、6、8 英寸多種平臺，可適用不同尺寸的晶圓檢測。涵蓋明暗場、偏光、DIC等多種觀察方式，專業應用於半導體、FPD、電路 封裝、電路基板、材料、精密磨具等檢測領域。
採用了離合器驅動的手動XY載物台，平臺面積450mmX220mm，在反射光照明模式下，操作員可在150mmX150mm的範圍內移動載物台。搭載軟體，可電動控制物鏡轉盤切換倍數和軟體控制雙向聯控，提高了檢查精度和速度。各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。附件齊全，配置完善，可靈活進行系統組合與功能拓展。人機工程學設計，擁有堅實可靠的系統結構。
MT60L顯微鏡採用長工作距離複消色差APO物鏡，2X / 5X / 10X / 20X。（可選50X物鏡和100X物鏡）。超長的工作距離帶來更自由的操作空間。特別適合半導體探針，點墨，擦拭，清潔等工站使用。
MT-60BD 全新採用半複消技術，集明場、斜照明、偏光等多種觀察方式，任何觀察下都能呈現清晰銳利的顯微圖像，可根據實際應用，進行功能選擇，是工業檢測的有效工具。 全新的作業系統機構，採用人機工程學設計，最大限度減輕操作者的使用疲勞，模組化的部件設計，可對系統功能進行自由組合，滿足工業檢測與 金相分析的專業領域需求。

MT60 金相顯微鏡

MT 系列含 4、6、8 英寸多種平臺，可適用不同尺寸的晶圓檢測。涵蓋明暗場、偏光、DIC等多種觀察方式，專業應用於半導體、FPD、電路 封裝、電路基板、材料、精密磨具等檢測領域。
採用了離合器驅動的手動XY載物台，平臺面積450mmX220mm，在反射光照明模式下，操作員可在150mmX150mm的範圍內移動載物台。搭載軟體，可電動控制物鏡轉盤切換倍數和軟體控制雙向聯控，提高了檢查精度和速度。各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。附件齊全，配置完善，可靈活進行系統組合與功能拓展。人機工程學設計，擁有堅實可靠的系統結構。
MT60L顯微鏡採用長工作距離複消色差APO物鏡，2X / 5X / 10X / 20X。（可選50X物鏡和100X物鏡）。超長的工作距離帶來更自由的操作空間。特別適合半導體探針，點墨，擦拭，清潔等工站使用。
MT-60BD 全新採用半複消技術，集明場、斜照明、偏光等多種觀察方式，任何觀察下都能呈現清晰銳利的顯微圖像，可根據實際應用，進行功能選擇，是工業檢測的有效工具。 全新的作業系統機構，採用人機工程學設計，最大限度減輕操作者的使用疲勞，模組化的部件設計，可對系統功能進行自由組合，滿足工業檢測與 金相分析的專業領域需求。

MT 系列含 4、6、8 英寸多種平臺，可適用不同尺寸的晶圓檢測。涵蓋明暗場、偏光、DIC等多種觀察方式，專業應用於半導體、FPD、電路 封裝、電路基板、材料、精密磨具等檢測領域。
採用了離合器驅動的手動XY載物台，平臺面積450mmX220mm，在反射光照明模式下，操作員可在150mmX150mm的範圍內移動載物台。搭載軟體，可電動控制物鏡轉盤切換倍數和軟體控制雙向聯控，提高了檢查精度和速度。各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。附件齊全，配置完善，可靈活進行系統組合與功能拓展。人機工程學設計，擁有堅實可靠的系統結構。
MT60L顯微鏡採用長工作距離複消色差APO物鏡，2X / 5X / 10X / 20X。（可選50X物鏡和100X物鏡）。超長的工作距離帶來更自由的操作空間。特別適合半導體探針，點墨，擦拭，清潔等工站使用。
MT-60BD 全新採用半複消技術，集明場、斜照明、偏光等多種觀察方式，任何觀察下都能呈現清晰銳利的顯微圖像，可根據實際應用，進行功能選擇，是工業檢測的有效工具。 全新的作業系統機構，採用人機工程學設計，最大限度減輕操作者的使用疲勞，模組化的部件設計，可對系統功能進行自由組合，滿足工業檢測與 金相分析的專業領域需求。

型號

MT40

MT60

MT80

光學系統

無限遠色差校正光學系統

觀察筒

反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節： 觀察筒 50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0

正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0

正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0

反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0

反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0

目鏡

高眼點目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調

高眼點大視野目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調

高眼點大視野目鏡SWH10X-H/25mm，視度可調

物鏡

明暗場物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X）(選配)

明場物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X）(選配)

物鏡轉換器

手動明暗場五孔物鏡轉盤//電動明暗場5孔轉換器（帶DIC插槽），物理按鈕和軟體雙控.

機架 上光源

反射用機架,低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節鬆緊裝置和隨機上限位元裝置。內置100-240V寬電壓 系統，採用數字調光，具有光強設定與復位功能

載物台

4 英寸載物台，平臺面積310*240mm，移動行程：100mmX100mm 機械平臺，X、Y方向同軸調節

6 英寸平臺，平臺面積450*240mm，移動行程：158mmX158mm 機械平臺，X、Y方向同軸調節；含 快速移動裝置

8 英寸平臺，平臺面積525*330mm，移動行程：210mmX210mm 機械平臺，X、Y方向同軸調節；含快速移動裝置

聚光鏡

搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）

干涉片

諾曼爾斯基微分干涉片

反射照明器

明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調，帶色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽

燈室

5W可調LED燈室，透、反射通用，預定中心

10W 可調 LED 燈室，透、反射通用，預定中心

攝像介面

攝影攝像附件：0.65X，C型介面，可調焦（可選0.5X/1X）

偏光組件

起偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板

上傳日期

檔案名稱

檔案類型

檔案大小

2023/03/27

DRC-6​​736.dwg

DWG檔

219KB

2022/09/15

MDRA-7032.pdf

PDF檔

166KB

型號

MT40

MT60

MT80

光學系統

無限遠色差校正光學系統

觀察筒

反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節： 觀察筒 50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0

正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0

正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0

反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0

反像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節:50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100:0

目鏡

高眼點目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調

高眼點大視野目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調

高眼點大視野目鏡SWH10X-H/25mm，視度可調

物鏡

明暗場物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X）(選配)

明場物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X）(選配)

物鏡轉換器

手動明暗場五孔物鏡轉盤//電動明暗場5孔轉換器（帶DIC插槽），物理按鈕和軟體雙控.

機架 上光源

反射用機架,低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節鬆緊裝置和隨機上限位元裝置。內置100-240V寬電壓 系統，採用數字調光，具有光強設定與復位功能

載物台

4 英寸載物台，平臺面積310*240mm，移動行程：100mmX100mm 機械平臺，X、Y方向同軸調節

6 英寸平臺，平臺面積450*240mm，移動行程：158mmX158mm 機械平臺，X、Y方向同軸調節；含 快速移動裝置

8 英寸平臺，平臺面積525*330mm，移動行程：210mmX210mm 機械平臺，X、Y方向同軸調節；含快速移動裝置

聚光鏡

搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）

干涉片

諾曼爾斯基微分干涉片

反射照明器

明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調，帶色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽

燈室

5W可調LED燈室，透、反射通用，預定中心

10W 可調 LED 燈室，透、反射通用，預定中心

攝像介面

攝影攝像附件：0.65X，C型介面，可調焦（可選0.5X/1X）

偏光組件

起偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板

上傳日期

檔案名稱

檔案類型

檔案大小

2023/03/27

DRC-6​​736.dwg

DWG檔

219KB

2022/09/15

MDRA-7032.pdf

PDF檔

166KB