型號

SCI00532

SCI01045

SCI03560

SCI04020

SCI04025

SCI10015

SCI20011

控制器

SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B

SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B

SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B

SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B

SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B

SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B

SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B

夾具型號

SCI-01

SCI-01

SCI-02

SCI-01

SCI-01

SCI-01

SCI-01

光斑大小

7μm

14μm

7.1μm

14.9μm

5.8μm

12.2μm

16μm

32μm

12μm

25.2μm

19.2μm

40.3μm

55μm

115μm

工作距離

25mm

10mm

12.8mm

40mm

16mm

40mm

70mm

測量範圍

0.5mm

1mm

3.5mm

4mm

4mm

10mm

20mm

解析度

0.006μm

0.006μm

0.006μm

0.006μm

0.006μm

0.012μm

0.025μm

直線性

±0.2μm

±0.2μm

±0.7μm

±0.8μm

±0.8μm

±1.6μm

±2.2μm

角度特性

±32°

±45°

±60°

±20°

±25°

±15°

±11°

最小可測量透明物體厚度

20μm

30μm

150μm

130μm

130μm

300μm

660μm

直徑

53mm

47mm

83mm

39mm

30mm

30mm

44mm

長度

159.7mm

148.6mm

229mm

105.27mm

114mm

111.5mm

123.9mm

重量

535g

350g

2300g

260g

95g

127g

258g